问题描述： 集成电路制备过程中哪些关键步骤需要清洗工艺 1个回答 分类：综合 2014-11-25 问题解答： 我来补答 IC制备过程中大部分步骤都需要进行清洗,尤其是涉及腐蚀、离子冲击等；一些敏感层次制备前后也需要清洗,例如栅氧；清洗分很多种类,不同的试剂清洗目的不一样,有的是去除残氧、有的去除离子杂质,有的是中和电荷等等. 展开全文阅读
